仪器型号:

ATS 500

仪器厂商（国别）:

HHV LTD英国

仪器原值:

102万元

购置日期:

2018.06

仪器主要附件:

名称: 智能激光冷水机

机组所在部门

联系电话:

前沿交叉科学研究院

0531-82767856

仪器位置及现状:

逸夫楼B213 正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

1）偏转角 270度的e型电子枪，额定功率   3kW； 2）铜坩埚容量4cc； 3）真空系统：腔室极限真空 小于等于5.0*10^（-5）Pa； 5）蒸发速率测量分辨率大于等于0.001nm/s。

应用范围/服务内容:

金属蒸镀

服务技术领域:

非金属及先进建筑材料、复合材料、金属材料