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大型仪器设备——电子束蒸发镀膜仪

作者: UJN_IAIR   信息来源:济南大学前沿交叉科学研究院    发布时间: 2018-09-09

仪器设备名称:

电子束蒸发镀膜仪

图片:

 

说明: Cache_21341f8c7abf6918.

仪器型号:

ATS 500

仪器厂商(国别):

HHV LTD英国

仪器原值:

102万元

购置日期:

2018.06

仪器主要附件:

名称: 智能激光冷水机

机组所在部门

联系电话:

前沿交叉科学研究院

0531-82767856

仪器位置及现状:

逸夫楼B213 正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

1)偏转角 270度的e型电子枪,额定功率   3kW 2)铜坩埚容量4cc 3)真空系统:腔室极限真空 小于等于5.0*10^-5Pa 5)蒸发速率测量分辨率大于等于0.001nm/s

应用范围/服务内容:

金属蒸镀

服务技术领域:

非金属及先进建筑材料、复合材料、金属材料

 

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地址:山东省济南市南辛庄西路336号 济南大学 逸夫科学楼
邮编:250022