仪器型号:

4200A-SCS

仪器厂商（国别）:

泰克科技（中国）有限公司

仪器原值:

57.348万元

购置日期:

2017.9

仪器主要附件:

IV测量模块三个

 C-V测量模块一个

脉冲式I-V测量模块一个

远程前端放大器模块两个

机组所在部门

联系电话:

前沿交叉科学研究院

0531-82767046

仪器现状:

正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

IV测量模块三个。指标如下：

第一个SMU模块(带前置放大器)的电流测量范围为0.01fA-100mA，另外两个SMU的电流测量范围为50fA-100mA；所有模块电压源必须同时达到最大210 V，电压源设定最小分辨率为≤5µV，电压测量范围为0.2μV-200V；配备一个前置放大器，电流测量分辨率为0.01 fA，电流源设定最小分辨率≤1.5 fA。

C-V测量模块一个。指标如下：

在1KHz-10MHz变频；偏置电压±30V；可以扩展到±210 V。

脉冲式I-V测量模块一个。指标如下：

脉冲发生器频率范围1 Hz-50 MHz；系统最小脉冲宽度：≤10 ns；最大脉冲电压±40V (80 Vp-p)；脉冲I-V模块电流测量量程包括：800 mA,200 mA,10 mA,1   mA,100 μA,10 μA,1 μA,100 nA；远程前端放大器模块两个。指标如下：

在I-V测量，C-V测量，和超快脉冲I-V测量之间无需换线实现自动切换。配备仪器链接所需要的全部线缆和软件支持。

应用范围/服务内容:

半导体器件的加工与性能测试方向，半导体性能的测量

服务技术领域:

纳米材料，微纳器件 FET器件的测试