仪器型号:

EPS150TRIAX

仪器厂商（国别）:

美国Cascade

仪器原值:

40.5万元

购置日期:

2017.9

仪器主要附件:

显微镜含CCD系统一套，15-120倍率光学放大倍率

载片台一套

探针座放置台一套

直流探针座4套

4根2米直流电缆,铜轴接口,25根/1盒的探针, 针尖直径为7μm

机组所在部门

联系电话:

前沿交叉科学研究院

0531-82767046

仪器现状:

正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

1)   6英寸直径的载片台，可独立拉出90mm;

2)   三轴结构低漏电流载物台，Z轴高度调整范围不小于10mm;   XY方向控制器为一体式，可实现单手操作。

3)   有两个独立小载物台，载物台移动精度分辨率≤5μm，平坦度≤5μm,旋转角度为+/-8°

4）显微镜系统放大倍率不小于120倍，提供影像输出系统

5）芯片为真空孔吸附的方式,并非环状;

6）探针座X/Y/Z方向移动范围：12.5 mm / 12.5 mm / 12.5 mm；针座可实现100TPI的高精度定位测试;

7）探针臂为三轴结构，电缆为三轴结构

8）平台提升移动范围不小于40mm，精度为1um

应用范围/服务内容:

半导体器件的加工与性能测试

服务技术领域:

纳米材料，微纳器件 FET器件的测试