仪器型号:

AE（Nexdep）

仪器厂商（国别）:

加拿大 Angstrom Engineering Inc.

仪器原值:

84.093万元

购置日期:

2017.9

仪器主要附件:

系统主腔室配有685l/s的普发Hi-pace 700分子泵

样品台带有加热功能，样品台背面无见光加热，最高可加热到400摄氏度

机组所在部门

联系电话:

前沿交叉科学研究院

0531-82767046

仪器现状:

正常

开放机时安排:

提前预约

主要技术指标:

系统安装有4个RADAK 温控型热蒸发源

蒸发速率自动控制和手动控制同时具备，控制精度：0.01   Å/s；薄膜误差小于5%

可以实现2个有机源之间的共蒸

RADAK的温控范围不小于0-1500 ^oC，能实现自动温度控制蒸镀功能

应用范围/服务内容:

半导体器件的加工与性能测试方向，有机半导体薄膜的制备

服务技术领域:

纳米材料，微纳器件